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运营商财经网康钊：国产28纳米离子注入机获突破

来源：运营商财经　2023-07-11 05:53:03

近日，有消息称，中国电科集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，这对我国半导体产业是大好事。不过，运营商财经网发现，中国研发高端离子注入机的厂商只有寥寥几家，有技术重要突破的主要是2家，这无疑会在与国外企业竞争中不利。

(资料图片仅供参考)

等离子注入机很重要，但市场规模小。

离子注入机是一种将高压离子轰击把杂质引入硅片的设备，主要用于晶圆制造流程中的注入（掺杂）工序，通过加入少量杂质使得原本导电性能很差的纯净硅变为一种有用的半导体。离子注入机可以精确控制掺杂杂质的数量、深度和分布，从而影响芯片内部结构中器件的最基础性能。

等离子注入机号称半导体产业七大关键设备之一，但也存在市场规模不够大的问题，愿意介入的企业不多，后来才介入的企业就更少。

全球最大的光刻机企业荷兰ASML公司2020年收入高达212亿美元，但全球2021年离子注入机的市场规模只有25亿美元；预计2023年全年离子注入机市场规模将达到30-40亿美元。

以往全球离子注入机市场份额高度集中，主要被美国应用材料、美国亚舍立科技、日本SMIT等三家厂商垄断。根据市场研究机构的数据显示，应用材料公司占全球集成电路离子注入机市场份额的50 %以上，亚舍立科技占20%左右，日本SMIT占15%左右，其余厂商占10%左右。

这就导致了国内离子注入机市场基本被国外厂商垄断，国内厂商仅有万业企业旗下的凯世通和签署的中电科装备公司。

此次中电科转公司攻克的高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型，实现了中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全谱系离子注入机自主创新发展，大幅缩小了与国际一流水平差距。

中国电科集团确实很牛，另一个一直在研发半导体先进设备是中科院系统的上海微电子研究所国内领先的90纳米光刻机就是上海微电子研究所，早在2021年就宣布研发成功28纳米光刻机，要不是美国把上海微电子列入实体清单，其28纳米光刻机应该早就成熟了，可以被中芯国际使用。

（责任编辑：韩丽）

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